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1200℃小型雙爐體滑軌爐 TCVD-OYS-1200C-S2-SL50(φ50)
產品概述:一款小型雙爐體滑軌爐,爐管為φ50X1500mm,其最高溫度可以達到1200℃(≤0.5h)。并配有一套不銹鋼密封法蘭;兩個爐體可以在雙向滑軌上來回滑動,實現對原材料的蒸發/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品的快速升降溫處理。同時可配備電動滑軌及供氣系統,真空系統和等離子射頻電源來搭建TCVD系統。
  • 名稱

    詳情

    主要參數

    ? 電源:AC220V   50/60HZ

    ? 額定功率:6KW        (單個設備3KW)

    ? 最高工作溫度:1200℃(<0.5H)

    ? 連續工作溫度:≤1100 ℃

    ? 建議升溫速率:≤10℃/min,

    ? 加熱區長度:400mm   (單個加熱區200mm)

    ? 加熱元件:HRE電阻絲;

    ? 熱電偶:K型    


  • 詳細描述:

    爐體結構

    主要特點

    ? 爐膛為上下兩部分組成,其中上部分爐膛可整體向后翻轉,方便取放、觀察實驗物料

    ? 采用雙層殼體結構并帶有風冷系統,確保爐體表面溫度較低,防止燙傷;

    ? 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,能最大程度減少能量損失;

    ? 爐膛安裝好后,內部也會重新涂有高純氧化鋁涂層提高反射率及設備的加熱效率同時也延長了儀器的使用壽命;

    ? 包含兩個爐體

    ? 爐子底部安裝一對滑軌,可手動使爐子從一側滑動到另一側,已實現材料的快速升降溫處理;

    ? 有漏電保護,斷偶和超溫保護功能

    爐管及滑軌

    ? 石英管尺寸:φ50*1500mm

    ? 備注:爐子在使用前,爐管兩端先放入管堵

    ? 鍍鉻鋼制成的雙滑軌

    ? 滑軌總長度:1600mm

    密封法蘭系統

    ? 一對不銹鋼真空法蘭系統(含真空機械壓力表、進氣端雙卡套氣嘴接頭、截止閥、出氣端寶塔氣嘴轉接頭)和高溫硅膠密封圈;出氣端法蘭做KF25,KF16,G1/4三口法蘭

    ? 法蘭系統固定在法蘭支架上,避免實驗過程中因法蘭自身重量損壞爐管;

    溫控系統

    ? 包含一款YD858型溫度控制器;

    ? PID控制和自整定調節;

    ? 智能化50段可編程控制;

    ? 控溫精度:±1℃;

    ? 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據;

    認證標準及核心零部件

    ? 核心零部件有ABB、OMEGA、東明等;

    ? 采用ABB電器元件,UL認證材料,出口歐盟的質量認證標準;

    售后質保

    ? 質保期一年,終身維護,24小時在線服務;

    ? 特別提示:耗材部分如加熱元件、爐管、坩堝等不包括在內;

    ? 因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內。

    注意事項

    ? 爐管內氣壓不得高于0.02MPA;

    ? 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

    ? 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

    ? 氣體的流量應限制在<200 SCCM(或200ml/ min)


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