產(chǎn)品概述：OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源，三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)（量程為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM）,直徑為60mm的開啟式管式爐（帶真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。

- ?電源：220V 50/60Hz
  ?額定功率：3.1 KW
  ?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）
?連續(xù)工作溫度：≤1100℃
?推薦升溫速率：≤10℃/min
?加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm
?熱電偶：K 型
?加熱元件：鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
?爐管尺寸：石英管口徑可選φ60
?控溫精度：±1℃

詳細(xì)描述：

技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)	滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng) —— OYS-1200C-II-60-PECVD（φ60）
主要產(chǎn)品參數(shù)	?電源：220V 50/60Hz ?額定功率：3.1 KW ?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h） ?連續(xù)工作溫度：1100 ℃ ?推薦升溫速率：≤10℃/min ?加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm ?熱電偶：K型
主要特點(diǎn)	?射頻電源可以實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度； ?可通過爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升降溫； ?可以通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應(yīng)力； ?可通過工藝調(diào)節(jié)控制化學(xué)計(jì)量； ?可沉積各種材料，如SiOx,SiNx,SiOxNy和（a-Si:H）等；
加熱元件	?鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
爐管尺寸	?石英管口徑可選:φ60
溫控系統(tǒng)	?包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能； ?控溫精度：±1℃
等離子射頻電源	300W射頻電源 ?輸出功率：0-300W可調(diào) ?射頻頻率：13.56MHZ ?自動(dòng)匹配 ?噪音＜50dB ?冷卻方式：風(fēng)冷 ?輸入電壓：AC180-250V
真空密封法蘭接口	?標(biāo)配：一對(duì)不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈；出氣端為三口法蘭分別為K16,KF25,φ8.2 ?出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接再于真空泵相連；
真空泵	?采用雙旋片式機(jī)械真空泵TRP-12 ?真空度可以達(dá)到10-2torr； ?真空連接配件配有KF25卡箍及不銹鋼波紋管用于連接管式爐與真空泵；
供氣系統(tǒng)	三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)---GYS-3Z ?電源：220V 50/60HZ ?量程范圍分別為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM ?有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接 ?壓力表量程:-0.1~0.15MPa ?混氣罐尺寸: φ80*120mm ?內(nèi)部連接管道為?6.35
爐體結(jié)構(gòu)	?爐體可以左右位移，射頻電源可以左右位移，爐體和射頻電源同時(shí)安裝在同一個(gè)滑軌上，使用同一根石英管
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件	?整機(jī)核心部件均符合CE、UL、MET等認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)；核心零部件有ABB電器元件，UL認(rèn)證電線、電纜，歐米茄，宇電、歐陸儀表等。
注意事項(xiàng)	?爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA； ?由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； ?對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生(如爐管破裂，法蘭飛出等)； ?氣體的流量應(yīng)限制在<200 SCCM(或200ml/ min)
售后	?質(zhì)保期一年，終身維護(hù)，24小時(shí)在線服務(wù)； ?特別提示：耗材部分如加熱元件、爐管、坩堝等不包括在內(nèi)；因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。